【48812】碳化硅毛坯籽晶带球面晶锭晶棒厂家

  当时方位：姑苏恒迈瑞资料科技有限公司碳化硅毛坯籽晶带球面晶锭晶棒厂家

  作为碳化硅坯料制造商，恒迈瑞为客户供给4英寸6英寸碳化硅毛坯籽晶带球面晶锭晶棒，用于测验弧度球面的面形和缺点，一起测验碳化硅Si面缺点。导电型碳化硅坯料厚度约10-20mm，未经过头尾切片，研磨抛光等工序。

  高质量碳化硅晶锭切片成翘曲小、厚度均匀，不然会给后续的研磨和抛光带来十分大的困难。一般都会选用金刚石线锯将碳化硅切成晶圆，总厚度改变（TTV）小于30 μm，翘曲度（Warp）小于20 μm。

  研磨是规划化生产中加工碳化硅衬底的第二步。碳化硅断裂韧性低，研磨难度大，对开裂十分灵敏。研磨进程需求涉及到转速、压力、砂粒巨细、磨料密度等许多参数。因而，研磨进程需求严厉挑选操作参数以大极限地进步磨削率，一起操控外表完整性。

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